針對化工廠廢氣種類以及其中含有的成分，在對其進行處理的時候可以采用多種廢氣處理工藝進行凈化，如光氧催化廢氣處理設備、低溫等離子廢氣處理設備、RTO蓄熱燃燒設備、活性炭吸附箱、水噴淋廢氣處理設備等。首先，化工廠產生的廢氣經收集后進入噴淋塔廢氣處理設備中，經過填料層，廢氣與氫氧化鈉吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應，用以去除酸性污染物及顆粒物。經過層凈化后的廢氣進入到低溫等離子廢氣處理設備中，等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

　　這種組合型廢氣處理工藝將兩種廢氣處理設備相結合，更具有針對性，凈化效果要比單一的廢氣處理設備更顯著。化工廠廢氣處理的相關方法，可參考化工廠廢氣處理。

　　工業廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物洗滌、生物滴濾法、等離子法等多種原理。廢氣處理塔采用五重廢氣吸附過濾凈化系統，工業廢氣處理設計周密、層層凈化過濾廢氣，效果較好。

　　工業廢氣的種類頗多，因此針對相應的工業廢氣，采用科創技術，進行技術的的組合與拆分，能夠更好更高效的對污染物進行去除。例如低溫等離子技術與UV光解凈化的組合、轉輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術的組合。

　　除臭裝置是一種采用洗滌和生物過濾聯合方法達到除臭的裝置。臭氣是一類揮發性的氣體，其分子在空氣中擴散，嚴重污染了人類賴以生存的環保，被吸入人體的嗅覺器官，則引起不愉快的感覺，繼而對人的呼吸系統、循環系統、消化系統、精神狀態等帶來不同程度的危害。由于臭氣的成分形成的復雜性和特殊性，僅僅采用某一種單一的治理方法，要達到經濟且比較理想的效果是比較困難的，所以采用兩種或兩種以上的聯合除臭的方法是必須的。